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分子泵組注意要點

日期：2023-05-09 13:14

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摘要：

分子泵組注意要點
　　分子泵組是分子泵與前級泵的串聯組合，集兩種泵的優點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6～大氣) 工作。

簡介

　　分子泵組是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：

　　1.牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

　　2.渦輪分子泵靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。

　　3.復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。

特點

　　復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的優點于一體。泵在很寬的壓力范圍內((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。